Tanner MEMS设计流程

Tanner MEMS设计流程在一个统一的环境中提供3D MEMS设计和制造支持，并且可以轻松地将MEMS设备与同一IC上的模拟/混合信号处理电路集成。铸造验证，它通过机械，热，声学，电气，静电，磁性和流体分析增强了MEMS器件的可制造性。