创建MEMS设备:如何开始?

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创建MEMS设备:如何开始?

本文介绍了如何使用Tanner自顶向下的设计流程来创建MEMS器件。该流程为设计团队提供了一个无缝的解决方案,设计团队致力于实现包含数字、模拟和MEMS元件的IC。通过MEMS库中的参数化原语集合,您可以创建复杂的表面微加工或流体MEMS设备。实例化每个基本体,设置参数,然后在L-Edit中组装布局,可以让您快速定义和分析MEMS设备。

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