口径分析仪

Calibre®Yieldenhancer提供了一种自动布局增强方法,可在不牺牲面积的情况下提高产量。Calibre Yieldenhancer与Calibre Yieldanalyzer合作,测量拟议布局修改(如通过加倍,电线加宽和通过外壳改进。Calibre Yieldenhancer提供网络感知功能和对设计数据库的后注释。Calibre Yieldenhancer的智能填充技术解决了高级流程节点的新填充难题,包括多模式和生态填充流。

Calibre Yieldanalyzer对所有基础层和互连层进行关键区域分析(CAA),以确定布局区域对随机颗粒缺陷的过度脆弱性,比如短裤和开口,由于布局特征的间距很近。CAA平台配置了正在评估的设计的层映射,以及铸造厂对每个工艺和缺陷类型(开/短)的缺陷密度分布的估计。然后,Calibre Yieldanalyzer使用该CAA平台计算每个布局层中对一系列缺陷尺寸的短路或开路敏感的面积。每一层和每一种缺陷类型都会产生按缺陷大小划分的临界区域分布。然后将这些临界面积分布乘以相应层和缺陷类型的缺陷密度分布,以确定失效概率。这些概率用于识别随机缺陷热点。

关键特征分析

关键特征分析(CFA)量化了对系统问题的设计敏感性,即遵循推荐的规则。实施CFA,规则组配置了一个推荐规则列表,并根据铸造厂推荐的规则优先级对每个规则的权重函数进行了估计。Calibre Yieldanalyzer使用此牌组为每个建议的违反规则生成加权分数。

转发注释到放置和布线工具

CAA和CFA数据可以转发注释到P&R工具,如奥林巴斯SOC,自动减少关键区域,同时确保保持正确的时间。大口径长者使用CAA和CFA结果自动指定各种互连和底层增强,比如通过加倍,通过外壳扩展和一般边缘移动,提高产量。

特点和优点

  • 结果在“DRC清洁和“LFD清洁签署
  • 使用户能够通过创建对给定制造过程中的变化不太敏感的设计来提高产量。
  • 使用经过产品验证的RET配方和工艺模型来模拟光刻效果。
  • LFD工具包预测并捕获由于制造过程和特定工艺条件而导致的潜在设计失败区域,并将问题传达给设计师,以便对布局进行修改。
  • 设计可变性索引(DVI?)提供的数据可帮助设计人员决定哪种布局配置最适合增强对流程变化的稳健性。
  • LFD数据报告以用户友好的DRC类型形式呈现,可分类,对可能的解决方案进行分类并包含注释,全部在设计环境中。
  • 易于集成到交互和迭代过程的设计流程中。
  • 与Calibre平台完全集成,流行的布局环境和行业标准格式。
闲聊γ 接触