口径LFD

Calibre®LFD™(防石击设计)是第一个经生产验证的EDA工具,以解决如何在设计创建的早期阶段管理平版印刷过程的可变性的紧急问题。Calibre LFD精确模拟了平版印刷过程对“的影响。“绘制”布局数据以确定实际“建成的制造的门和金属互连的尺寸。

通过精确模拟光刻工艺对建成的布局几何图形,Calibre LFD工具使设计师能够尽早做出权衡决策,从而使设计更坚固,对平版工艺窗口的敏感度更低。这种分析水平在纳米节点上很重要,即使是很小的工艺变化也会对硅的结果产生很大的影响。

提高产量的最大潜力

校准LFD标识布局”热点地区,“由于岩石学过程的变化,结构有更高的失效概率,并对其进行分级,以确定哪一个具有最高的增产潜力。与集成奥林巴斯SOC设计工具使口径LFD结果前馈,为设计人员提供建议布局改进的指导。并在修改后重新验证正确的时间。

精确的平版印刷模型

为了实现Calibre LFD的精确平版建模,铸造厂以设计规则检查(DRC)工具包的相同方式为设计人员的工艺提供了一个LFD工具包。然后,设计师可以运行模拟,以查看在铸造厂特定的平版印刷过程中,布局将如何执行的准确描述。目标是将设计驱动到LFD清洁以及“DRC清洁签字。有了口径LFD套件,设计师可以创建设计,并与铸造具体的口径LFD验证,以确保他们在提交给铸造制造过程之前没有光刻热点。

特点和优点

  • 结果在“DRC清洁和“LFD清洁签署
  • 使用户能够通过创建对给定制造过程中的变化不太敏感的设计来提高产量。
  • 使用经过产品验证的RET配方和工艺模型来模拟光刻效果。
  • LFD工具包预测并捕获由于制造过程和特定工艺条件而导致的潜在设计失败区域,并将问题传达给设计师,以便对布局进行修改。
  • 设计可变性索引(DVI?)提供的数据可帮助设计人员决定哪种布局配置最适合增强对流程变化的稳健性。
  • LFD数据报告以用户友好的DRC类型形式呈现,可分类,对可能的解决方案进行分类并包含注释,全部在设计环境中。
  • 易于集成到交互和迭代过程的设计流程中。
  • 与Calibre平台完全集成,流行的布局环境和行业标准格式。
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