口径掩模数据准备

导师的掩模数据准备(MDP)解决方案与Calibre平台完全兼容,使您能够使用单个控制语言在一个掩模制作批处理中完成所有分辨率增强处理和掩模数据格式转换任务。

校准MDP提供

  • 层派生
  • 镜像
  • 缩放比例
  • 旋转
  • 平面化填充
  • 全局和选择性分级
  • 分层掩码规则检查(MRC)
  • 掩模接近校正(MPC)
  • 将掩码拆分为许多标准输出格式

Calibre MDP为亚波长时代的主流掩模写入格式提供直接输出。比如MEBES,杰罗微电子,以及变截面梁,除了标准GDSII。

产品

Calibre Fracture以目标掩码写入格式直接导出掩码生成数据,而不更改工具或创建大型中间文件。微针可使用不同类型的口径骨折。杰罗MEBES东芝和Hitachi格式。了解更多

Calibre MDPMerge使物理验证和分辨率增强技术(RET)在完成掩模数据准备的过程中实现连续流动。了解更多

calibre mdpverify根据原始gdsii定义检查最终的掩码编写器数据,以防止使用错误数据编写掩码。它支持通过确认最终掩模数据中存在的所需更改(与断裂步骤无关)来跟踪设计更新。了解更多

Calibre MDPview能够快速、轻松地审查GDSII和OASIS格式的设计数据,以及在所有流行的mask writer模式格式和数据集合中,通过各自的工作平台。了解更多

Calibre Mapi扩展了Calibre MDPview™中可用的Tcl编程语言集,其专用功能支持提取和验证掩模计量的合适位置。了解更多

Calibre Maskopt通过对断开的数据进行高级预处理来降低总放炮次数,从而降低了掩模成本和掩模写入时间。Calibre Maskopt可以在45纳米及以下的高级技术节点的数据集上实现多达20%的快照数减少。了解更多

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