口径opcsBar
散射棒(SBS)是亚分辨率的,相位或铬条状特征,位于十字线图案边缘附近。抗散射棒(ASB)只是SBS的倒数,嵌入到图案中。SBS和ASBS改变了孤立线和半孤立线的航空图像的斜率,以更好地匹配密集嵌套线的航空图像。SBS有助于在音高上保持足够的聚焦深度,以帮助减少像差效应和CD色散。
Calibre®OPCSBAR™可以添加,模拟并验证SBS,同时保留设计层次。用户可以使用calibre opcsbar或自定义calibre脚本实现sbs。口径OPCSBAR有一个复杂的,基于优先级的“清理“选项帮助决定重叠时保留哪个SBS。